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MICHELL针对半导体和高纯气领域湿度异动的解决方案

更新时间:2009-02-23      点击次数:1825

 

MICHELL针对半导体和高纯气领域湿度异动的解决方案

密析尔仪表公司很高兴宣布推出自己的微量水分异动传感器-Pura Plus。 Pura Plus 是一款在线的微量水分异动传感器,专为半导体晶圆厂的高纯惰性气体而设计; 适合多点安装在气路进入制程工具前的zui末端。 Pura Plus 安装的管网上,可以快速的(小于一分钟)侦测出在1 ppb 基准上低至20ppb 的湿度异动。

为了同时保证达到高灵敏度和快速反应的要求,密析尔创造了一种*的侦测算法,并辅以全新的适合高纯气的陶瓷传感器设计。除此以外,Pura Plus 还可以满足半导体行业的特殊的包装要求,Pura Plus达到了材质和表面处理的zui高标准, 整个装配和包装都是在100 级的洁净室完成。在包装前,密析尔还要在10-9 bar / 秒的条件下对Pura Plus进行密封性测试,以达到在两年内免维护和正常工作的设计要求。信号通过MODBUS输出,以LED交通灯的形式显示警告和报警状态。将来还将具有4-20mA输出。

这款新的传感器是密析尔仪表针对晶圆工业在尺寸和规格方面需求的相应。晶圆厂不断地在推动技术以达到在元件尺寸和封装上的要求。新的更大尺寸的晶圆具有更昂贵的单位价值,使得晶圆厂不断提高产出,减少由于污染而导致的残品率。当前规定大宗散装惰性气(N2,Ar)的潮气污染水平要小于10 ppb, 而趋势是要降低至1ppb以下。

通常,在大宗散装气体进入FAB前的zui末端,通过安装大型而复杂的仪器来监测湿度污染,存在着价格昂贵而且反应速度慢的问题, 而大宗气体的湿度污染是不常发生的; 与此相反,在FAB的内部,由许多的分管,节点,和使用点而构成的管网,即传统的湿度监测点的下游,潮气进入却是经常发生的,造成的原因可能是微小的泄漏,系统设计缺陷,元件损坏,或者流程上的失败。Pura Plus 的小巧尺寸和创新概念使得在多个使用点的安装成为可行,成为保护晶圆制造流程的一个投入少,见效快的手段。

英国MICHELL拥有冷镜式、陶瓷氧化铝等湿度传感器。英国密析尔(MICHELL)仪表为zui大的湿度露点仪表生产厂家,在欧洲湿度检测领域有过半的*,拥有超过35年的专业技术,开发一整套变送器、露点仪、校验系统等产品,欧盟/美国国家标准实验室全都是使用MICHELL产品作为标准仪器。珠海恒智电子科技有限公司是英国密析尔(MICHELL)仪表在中国地区全程销售技术提供商,咨询产品。:、6102315   
 
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